|
Systeme zur Plasmacharakterisierung. Ein weiter Bereich von industriellen Prozessen verwendet elektrische Plasmen und neue Anwendungen entwickeln sich sehr rasch. In der Mikroelektronik erfordern höhere Ausbeuten und die fortlaufende Miniaturisierung der Bauteilgeometrien eine große Verständnis des Prozesses für die überlebenswichtige Reproduzierbarkeit des Prozesses.
Hiden Plasmasonden (z.B. Langmuirsonden) messen einige der Schlüsselparameter und bieten somit detailierte Informationen in Bezug auf die Chemie der Plasmareaktion.
Produkte
Massenanalysator und Energieanalysator zur Plasmadiagnose.
Advanced Langmuirsonde zur Plasmadiagnose.
Hochleistungs-Plasmasonden- Massenspektrometer.
Brochüren
 EQP Massen- und Energieanalysator (2.74 MB)
ESPION Serie Advanced Langmuirsonden zur Plasmadiagnose (309.28 kB)
HPR-60 Molekularstrahl-Massenspektrometer-System (668.25 kB)
Massenspektrometer für Dünne Schichten, Plasma und Oberflächenwissenschaften (1.03 MB)
Poster
Atmosphärische Plasmaanalyse mit Molekularstrahl-Massenspektrometer (1.34 MB)
Atmosphärendruck Plasmaanalysen ICPIG (255.33 kB)
Ionenenergieverteilung für ein DC Plasma (249.6 kB)
Zeitaufgelöste Ionisationsstudien von HIPIMS - PSE 2006 (847.63 kB)
Präsentationen
Analyse Geladener Partikel in Plasmaunterstützten Prozessen (597.07 kB)
Niedrigenergetische Ne Streuung von Metalloberflächen durch Verwendung von MARISS (321.25 kB)
Massenspektrometrie von Plasmaprozessen mit dem EQP System (551.51 kB)
Applikationshinweise
Eine neuartige Methode für die Studien Neutraler Komponenten im Prozessplasma (84.04 kB)
Eine verbesserte Methode für die Studie Neutraler Komponenten im Prozessplasma (145.2 kB)
Charakterisierung eines ICP Reaktors (I) (157.62 kB)
Charakterisierung eines ICP Reaktors (II) (284.15 kB)
Energetische (Schnell) Analyse von Neutralen Teilchen (84.43 kB)
Energien von Ionen die durch eine DC Biased RF Elektrode gesammelt wurden (184.06 kB)
Energieverteilung von Ionen und Atomen aus einer Magnetron-Quelle (172.14 kB)
EQP Diagnosesystem - Überblick (177.87 kB)
EQP Radikale aus einem Plasma (106.29 kB)
EQP/EQS Zeitaufgelöste Studien in Ionenstrahl- und Plasmaprozessen (245.57 kB)
ESPION Langmuirsonde (178.54 kB)
ESPION Langmuirsonde für Zeitaufgelöste Messungen (335.21 kB)
Untersuchung von Plasmen bei Atmosphärischem Druck (235.54 kB)
Ionenenergie-Verteilung beim Nachglühen einer Gepulsten ICP (323.02 kB)
Ionenenergie-Verteilung von Positiven Ionen in einer Argon-Entladung (118.31 kB)
Massenspektrometrie von Plasmaprozessen mit dem EQP/Massen- und Energie-Analysator (104.71 kB)
Die Energien von Positiven und Negativen ionen in einem RF Plasma in Lachgas (173.12 kB)
Technische Informationen
Daten-/Steuerungseingänge und Ausgänge und Spezielle Anwendungen (16.38 kB)
EQP und EQS - Technische Information (200.03 kB)
EQP 1000 - Sonde schematisch (65.98 kB)
EQP 300 500 Serie - Sonde Zeichnung (68.54 kB)
ESPION Langmuirsonde (346.56 kB)
ESPION Langmuirsonde - Zeichnung (40.17 kB)
ESPION Langmuirsonde Standard 300 mm Z-Antrieb - Zeichnung (80.82 kB)
HPR60 Molekularstrahl Sampling System (108 kB)
Einführung in Langmuirsonden (147.72 kB)
|
