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Oberflächenphysik - Oberflächenanalytik

SIMS - für Tiefenprofilanalysen, Bestimmung der Oberflächenzusammensetzung, und Bildgebung von Elementen, Hiden's SIMS Workstation liefert hierfür die komplette Analysenumgebung.

 

RGA - Die Hiden Quadrupol-Massenspektrometer bieten eine hohe Detektionsempfindlichkeit für die anspruchvollsten XHV/UHV Vakuum Umgebungen. Der Pulsionenzähldetektor ermöglicht die Messung sowohl von Positiven und Negativen Ionen kontinuierlich über 7 Dekaden, der integrierte "Akkumulations-Modus" wird zum einfangen von diskreten Partikelereignissen verwendet.

 

UHV Temperatur-Programmierte-Desorptionsstudien (TPD) - Hiden Analytical’s 3F/PIC Massenspektrometer mit Pulsionenzähldetektor sind erhältlich und ausgestattet für UHVTPD und ermöglichen die schnelle Dtektion über einen weiten dynamischen Bereich von unterschiedlichen Komponenten, und erfasst das komplette Desorptionsereignis. Die Daten der Temperaturrampe wird automatisch und simultan mt den Massenspektrumsdaten aufgenommen.

 

Die Hiden IDP Ionen-Desorptions-Probe ist als Quadrupol-Massenspektrometer konfiguriert zur Analyse von niederenergetischen Elektronen- und Photonenstimulierten Desorptionstudien.

 

 

Produkte

 

'Anbau-Sonden zur Nachrüstung bestehender Systeme.
Eine komplette SIMS Analysestation.
Pulsionenzähldetektion und Stab-Bias-Regelung.
Triple-Filter Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer.
Elektronen- und Photoneninduzierte Desorptions-Studien.
Pulsionenzähldetektion.
RGA Serie Quadrupol-Massenspektrometer.
TPD Workstation für thermische Desorptionsstudien.

 

 

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Broschüren

 

icon SIMS Broschüre TI 181 (669.66 kB)

icon SIMS Broschüre TI 181 HiRes (5.5 MB)

 

 

Präsentationen

 

icon IMP Endpunktdetektionssystem für Ionenätzanwendungen (277.87 kB)

icon SIMS - Bilder (2.17 MB)

icon SIMS Workstation & Anbausysteme (4.22 MB)

 

 

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Applikationshinweise

 

icon Energetische (Schnell) Analyse von Neutralen Teilchen (84.43 kB)

icon Energieverteilung von Ionen und Atomen aus einer Magnetron-Quelle (172.14 kB)

icon EQP/EQS Zeitaufgelöste Studien in Ionenstrahl- und Plasmaprozessen (245.57 kB)

icon EQS vs. EPIC - Ionenenergie-Verteilungsfunktion (270.08 kB)

icon Schnelle Analyse von Neutralteilchen (300.59 kB)

 

 

Technische Informationen

 

icon Daten-/Steuerungseingänge und Ausgänge und Spezielle Anwendungen (16.38 kB)

icon EPIC 1000 Serie Abmessungen (41.97 kB)

icon EQS 1000 Serie - Zeichnung (78.62 kB)

icon EQS 300/500 Serie - Zeichnung (52.17 kB)

icon SIMS Imaging FoV - Zeichnung (60.02 kB)

icon UHV TPD Analysator Kundenspezifische Abschirmungen (2.69 MB)

 

 

Produktspezifikationen

 

icon 3F Triplefilter für Temperaturprogrammierte Desoprtion (84.34 kB)