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SIMS - für Tiefenprofilanalysen, Bestimmung der Oberflächenzusammensetzung, und Bildgebung von Elementen, Hiden's SIMS Workstation liefert hierfür die komplette Analysenumgebung.
Produkte
Eine komplette SIMS Analysenumgebung.
Für statische und dynamische SIMS Anwendungen.
Für Anwendungen in der Oberflächen- und Tiefenprofilanalyse.
Triple Filter Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer.
RGA Serie Quadrupol-Massenspektrometer.
TPD Workstation für thermische Beschichtungsstudien.
Broschüre
SIMS Broschüre TI 181 (669.66 kB)
SIMS Broschüre TI 181 HiRes (5.5 MB)
MAXIM Quadrupol SIMS Analysator (561.59 kB)
IG5C Caesium Ionenkanone (820.44 kB)
Präsentationen
IMP Endpunktdetektionssystem für Ionenätzanwendungen (277.87 kB)
SIMS - Bilder (2.17 MB)
SIMS Workstation & Anbausysteme (4.22 MB)

Applikationshinweise
Energetische (Schnell) Analyse von Neutralen Teilchen (84.43 kB)
Energieverteilung von Ionen und Atomen aus einer Magnetron-Quelle (172.14 kB)
EQP/EQS Zeitaufgelöste Studien in Ionenstrahl- und Plasmaprozessen (245.57 kB)
EQS vs. EPIC - Ionenenergie-Verteilungsfunktion (270.08 kB)
Schnelle Analyse von Neutralteilchen (300.59 kB)
Technische Informationen
Daten-/Steuerungseingänge und Ausgänge und Spezielle Anwendungen (16.38 kB)
EPIC 1000 Serie Abmessungen (41.97 kB)
EQS 1000 Serie - Zeichnung (78.62 kB)
EQS 300/500 Serie - Zeichnung (52.17 kB)
SIMS Imaging FoV - Zeichnung (60.02 kB)
UHV TPD Analysator Kundenspezifische Abschirmungen (2.69 MB)
Produktspezifikationen
3F Triplefilter für Temperaturprogrammierte Desoprtion (84.34 kB)
IG20 Ionenkanone für Dynamische SIMS (60.37 kB)
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